我国传感器及仪器仪表的战略目标和发展重点

传感器和仪器仪表的技术和产品，经过发展，有了较大的提高。全国已经有1600多家企事业单位从事传感器和仪表元器件的研制、开发、生产。但与相比，我国传感器和仪表元器件的产品品种和质量水平，尚不能满足市场的需求，总体水平还处于上世纪90年代初期的水平。

　　存在的主要问题有：

　　(1)科技差，核心制造技术严重滞后于，拥有知识产权的产品少，品种不全，产品技术水平与相差15年左右。

　　(2)投资强度偏低，科研设备和生产工艺装备落后，成果水平低，产量差。

　　(3)科技与生产脱节，影响科研成果的转化，综合实力较低，产业发展后劲不足。

　　战略目标

　　到2020年，传感器及仪表元件领域应争取实现三大战略目标：

　　(1)以工业控制、汽车、通讯、环保为重点服务领域，以传感器、弹性元件、光学元件、电路为重点对象，发展具有知识产权的原创性技术和产品;

　　(2)以MEMS工艺为基础，以集成化、智能化和网络化技术为依托，加强制造工艺和传感器和仪表元器件的开发，使主导产品达到和接近同类产品的水平;

　　(3)以增加品种、提高质量和经济效益为主要目标，加速产业化，使国产传感器和仪表元器件的品种占有率达到70%~80%，产品达60%以上。

　　发展重点

　　传感器技术

　　(1)MEMS工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;传感器：如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空航天用动态传感器、微传感器，汽车压力、加速度传感器，环保用微化学传感器等。