半导体与材料测试中,精度与效率缺一不可。华测仪器HCCS-4探针台以高准度为关键,整合实用功能,适配多元化测试需求,是为实验室与生产线设计的测试装备。
该设备定位准确,X-Y移动平台行程4×4英寸,具备1μm移动精度,采用准确传动结构,可准确定位测试点位,避免数据失真,保障测试数据可信度。样品台支持360°旋转及准确微调,可实现多角度重复测试,定位准确、数据波动小,保障数据稳定性与可重复性,降低实验误差、优化测试效率。设备具有温控能力,温度范围覆盖室温至400℃,可模拟材料实际服役温度;0.1℃控温精度,能稳定维持温度恒定,适配高温等材料的电学性能测试。测试功能多元化,支持高温I-V、击穿、介电温谱等多种项目,可评估材料与器件高温电学特性,为研发优化、性能归因提供依据,适配多领域需求。U型平台可搭载2~4个探针座,支持直流、射频兼容,适配多种测试仪表,无需额外转接设备;探针座兼容多种线材,可满足不同精度测试需求。采用中心吸附孔+多圈吸附环设计,可牢固固定薄片、薄膜、晶圆等多种样品;配备电学单独样品台,拓宽样品适配范围,可满足特殊样品测试需求。搭载高清体式显微镜,成像清晰,便于快速找点对针;支持可选CCD成像系统,实现测试可视化记录,兼顾精度与效率,优化测试流程顺畅性。
华测仪器HCCS-4探针台凭借高准度、高适配性,契合半导体与材料测试需求,为技术创新与产业升级提供有力测试支撑。华测仪器的业务涵盖从单台测试设备供应到整体实验室规划建设的全过程。建设绝缘材料或功能材料电性能检测实验室,华测仪器可提供从方案设计到交付验收的完整服务。