华测仪器HCCS-4变温探针台

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HCCS-4变温探针台由华测仪器生产，探针台是一种辅助执行机构，把需要测量的器件放到探针台的载物台上，配合显微镜，X-Y移动器件，找到需要探测的位置；通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），准确扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机可以得到所需要的电性能参数。

产品参数

台体参数

水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置

X-Y移动行程：4英寸*4英寸（卡盘X-Y轴无间隙移动）

X-Y移动精度：1μm

样品固定：不低于4″卡盘，采用中间吸附孔和多圈吸附环固定样品

针座平台：U型针座平台，可同时容纳2~4个CB-100探针座同时点测

样品台调节：平台可升降调节适合加装探针卡，便于针卡重定位

显微镜参数

总放大倍率：16倍~100倍

变焦：0.8倍~5倍

工作距离：115mm，加装2倍辅助镜工作距离40mm

光源：带外置LED高亮无极调节亮度环形光源

温控参数

温度范围：室温~400℃

分辨率：0.1℃

控温精度：0.1℃

温度稳定性：±1℃