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20264-3
华测仪器真空晶圆退火炉|适配多种晶圆热处理

在半导体与晶圆工艺升级进程中，退火工序是平复晶格瑕疵、释放薄膜应力、优化器件电学性能与良率的关键环节。华测仪器针对晶圆热处理需求，推出Huace-800G真空晶...

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