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HCCS-4材料电滞回线测试探针台
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HCCS-4材料电滞回线测试探针台由华测仪器生产,采用U型针座平台,可同时容纳2~4个CB-100探针座同时点测;带有锁定旋钮夹盘,可以附加单独的校准片载台;样品固定采用不低于4″卡盘,采用中间吸附孔和多圈吸附环固定样品,均单独控制,中间吸附孔下限可以选择250微米。
产品参数
台体参数
水平旋转:可360°旋转,可微调15°,精度0.1°,带角度锁死装置
X-Y移动行程:4英寸*4英寸(卡盘X-Y轴无间隙移动)
X-Y移动精度:1μm
样品台调节:平台可升降调节适合加装探针卡,便于针卡重定位
显微镜参数
显微镜环绕立柱旋转式设计,便于快速移动显微镜,显微镜移动范围覆盖样品台;卡盘可做电极引出信号进行双面测试
总放大倍率:16倍~100倍
变焦:0.8倍~5倍
CCD:带CCD接口和0.4XC-mount;下限分辨率至2μm
镜座:双目观察倾斜45°,双瞳距调节范围:52~75mm,倾斜360°旋转
X,Y,Z轴方向调节范围:>50.8mm,调节精度小于2μm
工作距离:115mm,加装2倍辅助镜工作距离40mm
光源:带外置LED高亮无极调节亮度环形光源
温控参数
温度范围:室温~400℃
分辨率:0.1℃
控温精度:0.1℃
温度稳定性:±1℃
